脉冲调制中频高压交流电源
1 应用场景需求
低温等离子体应用,首先需要产生低温等离子体。目前,大气压低温等离子体应用***广的是中频介质阻挡放电(DBD)产生的低温等离子体,而驱动气体放电就必须使用中频高压交流电源。因此,研制中频高压交流电源成为必需。国内市场,南京苏曼研制的CTP2000K系列中频高压交流电源,500W典型单体的售价已经超过4万元。此电源,工作时采用自耦调压器供电,根据负载特性,手动调节频率至谐振点;然后根据使用需求,调节自耦调压器的输出达到改变高压输出的目的。此款电源的优点是结实、适应负载能力好;缺点是中频范围较窄,成熟的连续波模式导致等离子体参数的可调范围受限。
2 产品技术概况
输入电压:(1) 220V/50Hz;(2)10-120V 直流 或者 0-90V 交流;
输出电压:频率可设定范围1-100kHz,高压幅值5-30kV, 脉冲调制频率10-1000Hz,占空比1%-100%;
扫频功能:每种放电器均有自己的本征频率,该电源自带扫频功能,能够快速锁定谐振频率点,并上报用户选择设定;
功率输出:***输出功率1000W(连续波长时间输出),瞬时脉冲功率***2000W;
外触发通道:0-5V,供配合测量设备用。
3 样机概况
前面板
后面板
整机
氦气射流
氩气宽幅射流阵列
针-板DBD阵列
脉冲调制固态微波冷等离子体射流
1 应用场景需求
大气压低功率微波等离子体射流相比于低频等离子体射流具有比较优势,如密度高、温度低和活性粒子丰富等。但是大气压微波放电比较难于实现,技术门槛较高。国际上,日本、德国和韩国有微波等离子体射流装置销售,但售价均在10万元左右。国内的微波等离子体产品和技术主要在低气压微波等离子体装备方面,未见大气压微波等离子体产品销售。比较国外的大气压微波等离子体射流装置,一般均使用连续波激励放电产生,需要外触发点火。因此,微波等离子体参数可调范围有限,使用方便度不佳。
2 产品技术概况
输入电压:(1) 220V/50Hz;
输出微波:频率可设定范围2.3-2.6GHz,脉冲调制频率10Hz-100kHz,占空比1%-100%;
扫频功能:每种放电器均有自己的本征频率,该电源自带扫频功能,能够快速锁定谐振频率点,并上报用户选择设定(仅仅固态源有此功能);
自点火功能:在谐振频率点,电源自带点火程序,能自动点火并检测(仅仅固态源有此功能);
功率输出:***输出功率200W(连续波长时间输出);
放电器结构:发卡型、同轴型,单体和阵列;
外触发通道:0-5V,供配合测量设备用。
载气种类:空气,氮气,氩气等,几乎所有气体。
3 样机概况
电源样机
常压氩气等离子体射流